溶胶-凝胶法制备出二氧化硅薄膜仅需6步骤,你知道多少?
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前言
使用溶胶-凝胶法制备二氧化硅薄膜仅需6步骤，你知道多少？今天小编就给大家分享详细的制备过程，希望能给大家有所帮助！
第一步
配比
主要配方
正硅酸乙酯（TEOS）
无水乙醇（EtOH）
去离子水（H2O）
市售浓盐酸（HCl）
配方体积比例
TEOS:EtOH:H2O:HCl=15:40:5:0.07
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第二步
制溶胶
取一定量无水乙醇溶液分为两份，一份与TEOS在磁力搅拌机上混合10min，为A液；
另一份与浓盐酸和去离子水在磁力搅拌机上混合，为B液；
在B液搅拌过程中，将A液缓慢滴加到B液中；
滴加完成后得到C液，C液用保鲜膜密封好继续在磁力搅拌机上室温搅拌3-5h；
静置，陈化3天，得到SiO2溶胶
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第三步
做基片
将基片
分别放入
去离子水中初步清洗
再分别用
洗涤精、丙酮、无水乙醇和去离子水
经超声波充分洗涤
放入烘台上烘干后
置于干燥器中备用
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第四步
提拉法涂膜
将经过
洗洁精、丙酮、酒精和去离子水
清洗干净并烘干的样片
用等离子氧处理
将其夹持在电机一端
以6cm/min速度浸入溶胶溶液中
待其全部进入后
保持浸入状态4min
然后以同样的速度提拉出溶液
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第五步
干燥处理
将提拉出溶液的样品
先放置空气中干燥
使其表面乙醇挥发胶层固定
然后放入60干燥箱中干燥1小时
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第六步
热烧结处理
在管式炉中
从室温以2摄氏度/min
升温至500摄氏度
保温1h
随炉冷却
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结束
END
来源：光学薄膜前沿
编辑：付冠杰
注：文章信息仅为提供读者参考和分享交流而用，不代表本公众号观点，文章版权归原作者所有！
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